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包装规格
| 钢瓶规格 | 含量 | |
| 钢瓶容量 | 阀门 | 重量 |
| 47L | DISS632 | 10kg |
| 440L | DISS632 | 120kg |
电子级硅烷99.9999%
| 规格 | 99.9999% |
| 一氧化碳 | ≤ 0.05 ppm |
| 二氧化碳 | ≤ 0.05 ppm |
| 总氯化物 | ≤ 0.1 ppm |
| 甲烷 | ≤ 0.05 ppm |
| C2-C4 | ≤ 0.1 ppm |
| 氮气 | ≤ 0.5 ppm |
| 氧气 | ≤ 0.05 ppm |
| 水分 | ≤ 0.1 ppm |
| 硅基乙醚 | ≤ 0.1 ppm |
| 甲基硅烷 | ≤ 0.1 ppm |
| 乙硅烷 | ≤ 0.3 ppm |
| 氢气 | ≤ 20 ppm |
| 铝 | ≤ 0.02 ppba |
| 锑 | ≤ 0.02 ppba |
| 砷 | ≤ 0.02 ppba |
| 镓 | ≤ 0.02 ppba |
| 硼 | ≤ 0.02 ppba |
| 磷 | ≤ 0.02 ppba |
| 铁+铬+镍+铜+锌 | ≤ 1 ppba |
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